双束聚焦离子束扫描电镜 LYRA：基于高分辨率肖特基FEG-SEM镜筒和高性能聚焦离子束镜筒

双束聚焦离子束扫描电镜 LYRA

基于高分辨率肖特基FEG-SEM镜筒和高性能聚焦离子束镜筒，LYRA3 FIB-SEM是一款SEM与FIB良好结合的一体化系统，能够满足高要求客户的需要。

新一代场发射扫描电子显微镜（LYRA3）给用户带来了新的技术优点，包括改进的高性能电子设备使成像速度快，包含了静态和动态图像扭曲补偿技术的快扫描系统，内置的编程软件等，都使LYRA3保持着很高的性价比。

LYRA3系列的设计适用于各种各样的SEM应用及当今研究和工业的需求。大电子束流下的高分辨率有利于EDX、WDX、EBSD、3维断层扫描等分析应用。借助于高性能软件，TESCAN的FIB-SEM已成为适合电子束/离子束光刻、TEM样品制备等应用的强具。LYRA3聚焦离子束扫描电子显微镜配备了XM与GM两种样品室。

现代电子光路

· 特的大视野光路设计提供各种工作与显示模式

· 以电磁的方式改变物镜光阑——中间镜的作用如同“光阑转换器”

· 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing™），可模拟和优化电子束

· 全自动镜筒设置与对中

· 成像速度很快

· 3维电子束技术提供实时立体图像

· 可选的电子束遮没装置提供了电子束光刻技术

高性能离子光路

· 高性能CANION FIB设备提供既快又精确的切片与TEM样品制备技术

· 可选的高分辨率COBRA-FIB离子束设备在成像与铣削过程中依然保持很高的分辨率

聚焦离子束装置

· 装有两套差异泵的特离子束装置使离子散射效应较低

· 马达驱动高重复性光阑转换器

· 电子束遮没装置与法拉筒作为标配

· 同时可以进行离子刻蚀/沉积与SEM成像

· FIB的操作软件集成在SEM软件

· 软件工具栏包括了基本形状与可编程的参数

· 微/纳米加工

· 离子束光刻

维修简单

只需要很短的停机检修时间，就能使得电镜长期保持在优化的状态。每个细节设计得非常仔细，使得仪器的效率化，操作简化。

自动程序

自动设置和许多其他的自动化操作是设备的特点之一。除此之外，电镜还有样品台自动导航与自动分析 程序，能明显减少操作员的操作时间。通过内置脚本语言 （Python）可进入操作软件的大多数功能，包括显微镜控制、样品台控制、图像采集、处理与分析。通过脚本语言用户还可以编程其自己的自动操作程序。

用户界面友好的软件与软件工具

· 多用户和多语言操作界面

· 图像管理与报告生成

· 内置的系统检查与系统诊断

· 网络操作与远程进入/诊断

· 模块化的软件结构

· 标准的软件模块包括：自动离子束控制、电子束写入基本版、同时的FIB/SEM成像、预定义FIB工作模式等软件工具

· 可选软件包括了：颗粒度分析标准版/版、3维表面重建等模块

· 电子束写入软件使聚焦离子束扫描电子显微镜成为能进行电子束曝光、电子束沉积、电子束刻蚀、离子束沉积、离子束减薄的强具

· 可选的3D Tomography软件提供使用FIB时的全自动连续SEM图像，三维重构与三维可视化

LYRA3 GM

LYRA 3 GM是一款完全由计算机控制的聚焦离子束场发射扫描电子显微镜，可选配气体注入系统(GIS)， 有高真空和低真空两种模式，其具有的光学性能、清晰的数字化图像、成熟、用户界面友好的SEM/FIB/GIS操作软件等

LYRA3 XM

LYRA3 XM是一款完全由计算机控制的聚焦离子束场发射扫描电子显微镜，可选配气体注入系统(GIS)，有高真空和低真空两种模式，其具有的光学性能、清晰的数字化图像、成熟、用户界面友好的SEM/FIB/GIS操作软件等特点。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

北京亚科晨旭科技有限公司

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